用于压力传感的无铅压电厚膜研究进展

摘要

本文以无铅压电材料为综述对象,以压电理论、压电基本参数为切入点,综述了利用典型制备工艺合成无铅压电厚膜材料的最新进展,综述了BaTiO3(BT)类、NaNb O3(NN)类、Bi4 Ti3 O12(BIT)类、Na0.5 Bi0.5 TiO3(NBT)类和准同型相界类(MPB)类等五种主要的无铅压电厚膜材料近十年的研究进展,总结了压电厚膜材料的各种器件应用.