SiCxOy/SnO2:F/TiO2复合薄膜的制备及其性能

摘要

本文制备了具有低反射率特性和光催化性能的三层复合薄膜SiCxOy/SnO2:F/TiO2.SiCxOy层直接沉积在玻璃基体上,作为障碍层避免离子从玻璃基板扩散到最外的功能层.而SnO2:F和TiO2作为功能层则分别使复合薄膜具有低反射率和光催化性能.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)对样品进行表征.与纯TiO2薄膜相比,复合薄膜由于表面粗糙,以及TiO2到SnO2层界面间的电子移动,表现出较高的光催化性能和亲水性.另一方面,由于SnO2:F层的低E特性,复合薄膜的远红外反射率随着TiO2薄膜厚度逐渐增加而减少.