石英管材中羟基的去除

摘要

应用高温氮气法对不同石英材料进行了羟基去除的实验研究,考察了温度、时间、氮气流量等因素对去除羟基的影响.结果表明采用高温氮气法去除不同石英样品中羟基效果不同,对熔炼石英样品羟基质量分数从139.2×10-6降到小于1.0×10-6,气炼石英单晶片中羟基去除效果不明显.