直径2mm电磁型微马达的研制及其气隙磁场的分析

摘要

微机电系统（ＭＥＭＳ）是正在国际上发展的新兴学科，微马达是微机电系统中的关键器件，本文介绍了研制成的直径为２ｍｍ、高０．７ｍｍ的电磁型微马达的结构特点，并对气隙磁场分布进行了分析讨论。