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门极换向晶闸管(GCT)扩散阻挡层的研究

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摘要

通过对多种阻挡层特性的分析,选定了熔点高、化学稳定性好、电阻率低的TiN薄膜作为门极换向晶闸管阳极的阻挡层.采用磁控溅射技术生长的TiN,经俄歇电子谱仪分析表明,TiN阻挡层系统能有效地阻挡硅和铝的相互扩散,可作为门极换向晶闸管阳极理想的阻挡层材料.

著录项

来源
《辽宁大学学报：自然科学版》 |2006年第4期|289-291|共3页
作者
吴春瑜; 卢雪梅; 白永生; 刘一婷; 张馨芳;
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作者单位

辽宁大学物理系;

辽宁大学教务处;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类二极管：按结构和性能分;
关键词
扩散阻挡层; 门极换向晶闸管; 金属化.;

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