纳米ZnO阵列的制备及荧光特性

摘要

使用结构简单的恒温管式炉设备，以ZnO及无定形碳粉末为原料，高纯Ar气为载气，在单晶硅和Al2O3基底上，用化学气相沉积技术，在600～1100℃范围内翻备了择优取向的纳米ZnO晶体阵列．用扫描电子显微镜（SEM）和荧光光谱（PL）等方法对ZnO薄膜阵列的结构和性能进行了表征，讨论了生长条件对纳米ZnO晶体阵列性能的影响．