新型真空镀膜机开关量控制机硬软件设计

摘要

介绍了在新型镀膜设备中开关量控制机的硬件结构设计，以及开发和使用梯形图支持软件，针对１２个工艺过程进行软件编程，从而实现全部开关量的检测，信息传输，过程控制和报警功能。