MOS静态参数性能研究综合实验的设计与实践

摘要

以加深学生对半导体器件性能知识的理解和掌握为目的 ,设计并开发了适用于本科实验教学的"MOS(Matal-Oxide-Semiconductor)静态参数性能研究"综合实验项目及性能测试仪.该测试仪可以分项也可组合测量多项参数,不仅有利于加深学生对器件性能知识的理解,而且有利于学生实践动手能力的培养.多年实践教学表明,该综合实验项目有助于提高学生对本专业基础课《半导体器件物理》的学习兴趣和思考.学生在实践教学中由被动学习转变为主动实验设计者与参与者,并实现了师生互动和学生之间的交流合作,取得了良好的教学效果.