激光频率对用PLD法生长氧化锌薄膜特性的影响

吴木生; 叶志清; 王根生; 邓海东; 欧阳桂仓

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激光频率对用PLD法生长氧化锌薄膜特性的影响

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用脉冲激光沉积法(PLD)在硅(100)衬底上制备了c轴取向的高质量的ZnO薄膜.分析了不同激光频率下薄膜的结晶状况,通过对薄膜的PL谱的测试,分析了不同激光频率下薄膜的发光特性状况,同时进行了薄膜结构的测试.结果显示:激光频率为3 Hz的样品结晶质量较高,具有很高的c轴择优取向,同时发光性能达到相对优化.

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来源
《江西师范大学学报：自然科学版》 |2008年第1期|55-57|共3页
作者
吴木生; 叶志清; 王根生; 邓海东; 欧阳桂仓;
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作者单位

江西师范大学物理与通信电子学院;

江西南昌330027;

江西财经大学现代教育技术中心;

江西南昌330013;

华南农业大学理学院;

广东广州510642;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延 ;
关键词
脉冲激光沉积法; 氧化锌; X射线衍射; 激光频率; 光致发光;

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