测量单模振动的时间平均曝光法

摘要

采用Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ干涉仪测量简谐振动。引入圆柱形透明介质对抛光束调制，产生一组带有振动信息的散斑干涉条纹，由此确定振动参数，同时提高测量灵敏度。