同位素分离领域气体小流量控制方法

摘要

在气体同位素分离领域,需要对系统内的气体流量进行精确控制,某些关键位置需要达到0.1 mg/s的精度,才能符合设计要求.为了实现精确控制气体流量的目的,气体流体力学中的"声速孔板"原理在气体同位素分离领域得到了广泛应用.本文在声速孔板物理原理的基础上,介绍几种常用的孔板校准方法,并整理出基本的应用方向,为广大科研人员在实验研究、工程设计等有气体流量控制需求时提供参考.