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膜厚影响SnO2厚膜型气敏元件敏感特性的研究

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采用丝网印刷技术制备不同膜厚Sn02厚膜气敏试样,在不同温度下进行热处理后测定了试样的阻温曲线和对乙醇气体的灵敏度,结果表明制备不同膜厚试样的气体灵敏度不同,阻温曲线也不同.要制备灵敏度高、一致性好的气敏器件,调整控制膜厚和及其热处理温度至关重要.

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来源
《无机材料学报》 |2001年第6期|1255-1258|共4页
作者
傅军; 董名友;
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作者单位

海南师范学院物理系,;

海南海口科宇电子设备厂,;

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正文语种 chi
中图分类材料 ;
关键词
SnO2气敏元件; 膜厚 ; 热处理; 气敏特征;

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