厚膜型气敏器件膜厚影响气体检测灵敏度的研究

摘要

利用化学沉淀法制备 Sn O2 纳米材料 ,再利用平面丝网印刷技术制备不同膜厚的 Sn O2 厚膜型气敏器件试样 ,测量不同厚膜气敏器件试样对甲烷气体检测灵敏度和阻温曲线 ,并进行复阻抗分析。实验表明试样膜厚对检测灵敏度的影响是明显的 ,试样膜厚在 5 3μm左右对甲烷气体有最大灵敏度。