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陈祝; 张树人; 杜善义; 杨成韬; 郑泽渔; 李波; 孙明霞;
成都信息工程学院通信工程系,成都,610225;
电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054;
哈尔滨工业大学复合材料研究所,哈尔滨,150001;
陶瓷靶; 氧化锌薄膜; 射频磁控溅射; 择优取向;
机译:用纯金属Zn靶法制备ZnO薄膜制备的ZnO薄膜结构与性能的比较研究和ZnO陶瓷靶
机译:用(100-x)ZnO-xB(2)O(3)陶瓷靶磁控溅射制备的掺硼ZnO薄膜的表征
机译:直流磁控溅射高导电性ZnO(ZnAl_2O_4)陶瓷靶的透明导电ZnO:Al薄膜的制备与表征
机译:陶瓷ZnO靶的磁控溅射沉积ZnO薄膜
机译:RF溅射法制备Si / Ingan异质结太阳能电池:改进氮化铟镓(IngaN)薄膜的电气和光学性能
机译:ZnF2掺杂的ZnO靶在不同溅射衬底温度下沉积F掺杂的ZnO透明薄膜
机译:射频溅射功率和真空退火对偶氮靶法制备陶瓷靶制备的偶氮薄膜性能的影响
机译:顺序ar-O(2)Y(2)O(3),BaF(2)和CuO靶的溅射制备Y-Ba-Cu-O超导薄膜无湿O(2)退火。
机译:使用RF溅射装置形成有机薄膜层的方法,RF溅射装置以及形成在RF溅射装置中使用的靶的装置
机译:形成用于使用RF溅射装置的有机薄膜层的方法,RF溅射装置以及用于形成要在RF溅射装置中使用的靶的装置
机译:面向靶溅射法制备用于OLED的GA掺杂Zno薄膜
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