利用激光刻蚀技术提高Ba_(0.5) Sr_(0.5) Co_(0.8)Fe_(0.2) O_(3-δ) 膜的透氧能力

摘要

利用激光刻图机对Ba_(0.5) Sr_(0.5) Co_(0.8)Fe_(0.2) O_(3-δ) (BSCFO)透氧膜表面进行刻蚀,以提高膜表面的比表面积,改善膜的氧表面交换能力,从而达到提高透氧量的目的.研究结果表明,激光刻蚀在膜表面形成宽150μm,深25μm的条纹,可以显著提高膜表面的比表面积.XRD图谱显示,激光刻蚀不会引起BSCFO相结构的变化.透氧量测试表明,激光刻蚀可以增大透氧量,十字交叉双面刻蚀效果更加显著.十字交叉双面刻蚀后,其透氧量比未用激光处理的样品提高了大约34%.