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具有亚波长模式局域性的全介质反槽波导及其与输入/输出光纤的高效耦合

     

摘要

由于金属固有的欧姆损耗,表面等离子体波导通常具有较大的传输损耗.基于此,提出了一种全介质反槽波导结构,该波导可以同时实现亚波长模式局域性和理论上无损耗的传输,归一化模式面积可以达到3.4×10-2.另外,为了实现该小尺寸反槽波导与输入/输出光纤的高效耦合,提出了一种高效的耦合方案,耦合效率可以达到92.7%,在y和z方向上1 dB损耗的耦合偏差均约为2μm.

著录项

  • 来源
    《红外与毫米波学报》|2021年第6期|709-714|共6页
  • 作者单位

    中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硅基材料与集成器件实验室 上海200050;

    中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硅基材料与集成器件实验室 上海200050;

    中国科学院大学 北京100049;

    中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硅基材料与集成器件实验室 上海200050;

    西安理工大学电子工程系 西安710048;

    中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硅基材料与集成器件实验室 上海200050;

    中国科学院大学 北京100049;

    中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硅基材料与集成器件实验室 上海200050;

    上海微技术工业研究院 上海201800;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 应用光学;
  • 关键词

    光子集成电路; 纳米光子学; 波导;

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