中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硅基材料与集成器件实验室 上海200050;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硅基材料与集成器件实验室 上海200050;
中国科学院大学 北京100049;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硅基材料与集成器件实验室 上海200050;
西安理工大学电子工程系 西安710048;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硅基材料与集成器件实验室 上海200050;
中国科学院大学 北京100049;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 硅基材料与集成器件实验室 上海200050;
上海微技术工业研究院 上海201800;