无机溶胶-凝胶途径制备V2O5薄膜的实验研究

摘要

以分析纯V2O5粉末为原料,H2O2为溶剂,采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺,以无机途径成功制备了V2O5薄膜.研究了在不同衬底上制备薄膜的可行性及工艺过程,不同温度热处理及不同厚度V2O5薄膜的透射光谱及300℃热处理薄膜的温阻特性.实验发现在石英玻璃及普通载玻片上可制备均匀透明度的薄膜,100℃热处理的V2O5薄膜透光性能最好,而300℃热处理V2O5薄膜在紫外及近紫外线区(350nm～450nm)的吸收率最高.该工作对于V2O5光电薄膜的大面积、低成本制备具有一定的参考价值.