无衍射光莫尔条纹空间直线度误差的测量方法

摘要

将无衍射光与莫尔条纹技术相结合 ,发展了一种新的连续空间直线度误差测量技术 .此方法利用了无衍射光和环状莫尔条纹的图像自定位基准特性 .由于无衍射光的大光学口径和光学数值孔径 ,此方法适用于长、短距离连续空间直线度误差测量 ,并且测量系统具有体积小、操作简单。