共焦扫描系统的光外差探测

摘要

提出了一套新颖扫描成像系统方案，它综合了共焦扫描方式与光外差探测方法的优点。该系统具有μｍ级的纵向层析分辨率能力，且能大大改善对低反试样或较厚试样的深层扫描成像的图像质量，对其成像机理，光学特性进行了分析。