超导薄膜制 Bolometer 器件的微透镜红外增强

摘要

采用离子束刻蚀制备线列熔凝石英柱微透镜阵列，准分子激光扫描消融法淀积性能均匀且稳定性良好的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜，湿法刻蚀制备超导薄膜器件，微透镜阵列与超导薄膜器件用胶粘合构成组合红外探测器，测试了组合器件在１～５ｍ红外波段的光响应特性．