聚合物微透镜阵列制作及单片集成应用研究

摘要

以聚酰亚胺和聚二甲基硅氧烷两类材料为例 ,研究了聚合物微透镜阵列的制备工艺以及与CCD图像传感器芯片的单片集成工艺 ,阐述了光学聚合物用于单片集成应具有的材料性能 。