基于流量分比控制技术的多路配气系统的研究

摘要

针对国内芯片制造业中对标准气体的需求,在传统的单路配气系统上,研发了多路输入混合标准气体配置系统.运用热式气体毛细管温度衰减测量技术、气体质量流量分比和气体滞后性补偿等原理,构建了以主控制器、气体流量控制系统为一体的闭环配气控制系统.同时通过不同量程的稀释气体的配置,对比了基于数据融合算法和均值滤波算法下的气体流量控制误差,分别为±0.3%和±0.8%.实验表明该系统稳定,误差范围在±0.3%,响应时间不超过30 s.