河南科技大学 材料科学与工程学院 河南 洛阳 471023;
河南科技大学 河南省高纯材料及溅射靶材工程研究中心 河南 洛阳 471023;
河南科技大学 洛阳市高纯材料及溅射靶材重点实验室 河南 洛阳 471023;
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