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质谱仪真空系统的故障诊断及使用维护

         

摘要

介绍了质谱仪器的真空要求和当前普遍使用的真空系统,并以Agilent 6890-5973N型气质联用仪为例,讨论了空气泄漏的症状、诊断方法及真空系统的日常维护.

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