两轴扫描镜数学模型的建立与简化

摘要

在分析扫描镜机械装置动能的基础上，利用力学拉格朗日方程推导出更为准确的运动方程。这是一个具有复杂非线性和强耦合的装置，确定了由该机械装置组成的闭环系统的稳定性，对机械装置非线性运动方程进行了线性化与简化处理，所给出的数学模型可作为设计扫描镜控制器的基础。