高温热解聚硅烷制备SiC薄膜初探

摘要

用组合成的可溶性聚硅烷 1 71 0 A作涂膜材料 ,进行不同温度的真空热解或高纯氮下热解实验 .通过IR谱和 XPS谱分析 ,在 790～ 81 0 cm-1和 1 2 70 cm-1红外吸收特征峰分别对应 Si— CH3 摇摆振动和伸缩振动吸收峰 ,XP—Si谱给出 Si( 2 P)结合能为 1 0 1 .6e V,CIS为 2 84 .3 e V,证明有 α-Si C∶ H生成 .