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用β射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统

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介绍用β射线在线自动测试薄膜厚度的计算机测量系统的基本构成、系统功能、测试原理及软件.

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来源
《广东工业大学学报》 |1999年第2期|5-8|共4页
作者
许立梓; 李传芳; 林文豪; 郑锐生;
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作者单位

广东工业大学电气工程及自动化系,广东,广州,510090;

广东工业大学电气工程及自动化系,广东,广州,510090;

汕头协华电脑公司,广东,汕头,515000;

汕头市凯达泓集团包装材料公司,广东,汕头,515065;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动控制、自动控制系统;
关键词
计算机测量系统; β射线测厚; 薄膜厚度;

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