溶胶凝胶合成PbTiO_3/NiTi工艺研究

摘要

研究了溶胶凝胶工艺在NiTi基体表面复合PbTiO3 压电陶瓷薄膜的过程 ,并从热处理温度分别对陶瓷相和合金基体的影响出发 ,讨论了复合膜的最佳热处理工艺。此外 ,还对水热法和溶胶凝胶法合成的陶瓷薄膜表面形貌进行了分析比较。