刻蚀转移掩蔽膜用单分散SiO_2纳米小球制备

摘要

在无水乙醇中以氨作催化剂,正硅酸乙酯为硅源,通过传统溶胶-凝胶工艺制备单分散SiO_2球形颗粒,通过扫描电子显微镜(SEM)进行研究各种反应条件正硅酸乙酯、氨和水的浓度、水解温度等对SiO_2小球颗粒大小和形貌的影响。结果显示,正硅酸乙酯、氨水浓度增加而SiO_2小球粒径增大;去离子水量的增加而SiO_2小球粒径变小;温度升高团聚现象明显减少;陈化时间影响团聚,但团聚现象是可逆变化。讨论了SiO_2小球颗粒在不同反应条件下的形成机理,以及由于SiO_2纳米小球的表面能高、稳定性差、使用中易产生团聚现象原因及解决的方法。