Si、Si-Fe合金助熔法制备SiC研究

摘要

助熔剂法是一种高效生长SiC晶体的方法.本文采用助溶剂法对比考察了Si、Si-Fe合金熔体中SiC晶体生长行为特征,并结合光学显微镜以及电子显微探针对SiC晶体进行分析.研究发现,Si、Si-Fe合金熔体中SiC晶体均以SLS机制生长,受C在两种介质中溶解度的影响,Si熔体中SiC析出尺寸较小,10～50μm,排列成线状分布在样品外侧;Si-Fe熔体中SiC晶体析出尺寸较大,50～200μm,分散在样品中.