非晶合金热塑性微成型技术研究概况及发展趋势

摘要

由于非晶合金的无定形结构,非晶合金在室温下表现出高强度、高硬度、加工性能差等特征.但是,非晶合金在过冷液相区内展现出低粘滞系数、高流动性能的超塑性特征,这为非晶合金的塑性加工提供了一种新的途径.论述了非晶合金过冷液相区热塑性微成型技术的特点,对比传统晶态材料总结了非晶合金作为理想微成型材料的优势.介绍了非晶合金在微机电系统(MEMS)产业领域诱人的应用前景,并列举了国内外相关专家学者在非晶合金热塑性微成型领域的研究成果.总结了非晶合金在微电子系统、精密光栅、微纳超疏水表面、生物芯片、微型燃料电池等领域的应用.同时,指明了非晶合金热塑性微成型技术发展过程中存在的问题,重申了开发非晶合金热塑性微成型技术的重要性.