原子层沉积制备纳米催化剂研究进展

摘要

纳米催化正在面临技术上的革命,对金属纳米颗粒的尺寸分布及形貌结构等的精准控制提出了更高的要求,原子层沉积(ALD)由于可实现原子尺度的精准控制而为这一问题的解决提供了参考.本文综述了ALD技术在纳米催化中的研究进展,回顾了ALD的发展历史、基本原理和主要设备及工艺,介绍了ALD常见底物及得到的催化剂结构类型.重点阐述了ALD所得催化剂的分类及其在热催化、电催化及光催化领域中的应用.分析了ALD目前面临的挑战,并对未来发展进行了展望.