二氧化锡超微粒子气敏薄膜的复数阻抗谱研究

摘要

用直流气体放电活化反应蒸发法制备了二氧化锡超微粒子薄膜，测量了薄膜的阻抗谱，验证了超微粒子薄膜的内部模拟等效电路。研究了温度、还原性气体以及热处理对阻抗谱的影响，并用氧吸附理论和晶界势垒理论定性地解释了这些现象。