全光纤干涉型微位移传感器系统的研究

摘要

根据光学干涉测量的基本原理，提出了一种共用同一光纤光路的非接触式、干涉型、全光纤微位移传感器的设计方案，进行了理论分析和实验，结果表明该传感器不仅具有精度高、分辨率强、工作稳定等优点，而且结构精巧，易于集成化。