纵向结构真空磁敏传感器的原理和制造

摘要

该文介绍了用场发射阵列作为电子源的纵向磁敏感传感器的工作原理，分析了这种磁敏传感器的灵敏度，并阐述了ＶＦＥＡＭＦＳ器件的制造和结果以及器件的基本工作参数和提高灵敏度的主要措施。