溅射沉积纳米ZnO膜的表征及其性能

摘要

利用RF磁控溅射法在PET非织造布表面沉积氧化锌(ZnO)薄膜,并利用原子力显微镜(AFM)和能量弥散X-射线法(EDX)对ZnO薄膜的表面形貌和结构进行表征和分析.结果表明,沉积的ZnO颗粒具备纳米级尺度,且颗粒分布均匀、膜层致密,薄膜颗粒中只含有Zn和O两种元素;随着沉积时间的延长,ZnO呈多层生长模式.测试表明,经ZnO镀层处理的PET非织造布具有较强的紫外线屏蔽效果和优良的抗静电效果.