PSD 在石英摆片综合参数测试中的应用

摘要

详细介绍了以ＰＳＤ为敏感元件的石英摆片综合参数测试系统的测量原理、光路和电路。该系统可对石英摆片的摆幅、摆频、扭幅、扭频、台阶高度和挠性梁刚度等实现自动测量，具有响应快、分辨率高、易与ＰＣ机通讯等特点，为石英摆片的质量评估提供了科学依据