石英摆片高精度低缺陷加工关键技术研究

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第一章 绪论

1.1 课题来源与研究背景

1.1.1 课题来源

1.1.2 课题背景与意义

1.2 国内外发展现状概述

1.2.1 国外研究现状

1.2.2 国内研究现状

1.2.3 离子束抛光工艺

1.3 论文主要研究内容

第二章 石英摆片加工特点研究

2.1 石英摆片加工质量影响分析

2.1.1 石英摆式加速度计工作原理及模型分析

2.1.2 石英摆片加工质量影响分析

2.2 石英摆片加工难点分析

2.3 本章小结

第三章 石英摆片小束径离子束抛光工艺研究

3.1 小束径离子束工艺研究

3.1.1 小束径修形能力分析

3.1.2 小束径实现方法

3.2 石英基片和石英摆片夹具设计

3.2.1 石英基片夹具设计

3.2.2 石英摆片夹具设计

3.3 石英摆片修形研究

3.3.1 加工定位补偿分析

3.3.2 小束径去除函数分析

3.3.3 石英摆片加工验证

3.4 本章小结

第四章 石英基片表面缺陷去除研究

4.1 石英基片表面缺陷表征分析

4.2 石英基片表面缺陷去除实验

4.2.1 磁流变抛光去除函数实验

4.2.2 石英基片去损伤加工

4.3 石英摆片及基片加工工艺路线

4.4 本章小结

第五章 总结与展望

5.1 全文总结

5.2 研究展望

致谢

参考文献

作者在学期间取得的学术成果