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孙宝元; 牛志明;
不详;
三维; 加速度传感器; 测振计;
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机译:具有新型垂直梁结构的压阻式加速度传感器
机译:单极性压阻三维应力传感芯片的微细加工与标定
机译:新型压阻式加速度传感器的研究
机译:开发了一种完全集成的微机械压阻式加速度传感器/振动传感器,带有集成的空气阻尼器,用于状态监测。
机译:高冲击应用的高重力压阻加速度传感器的设计与应用
机译:使用人造丝状传感器结构的生物悬浮压阻式加速度传感器
机译:压燃式引擎 - 压缩机涡轮组合的性能的计算。 1 - 高增压式压燃式发动机的性能
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
机译:通过使用相同的制造具有桥式压阻器的压阻加速度传感器的桥式结构和方法的制造方法
机译:压阻式微机械传感器组件,例如加速度传感器在弯曲托梁的顶面和底面提供压阻掺杂区,并在相对侧将其布置在基板和地震质量之间
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