微机电系统科学与技术发展趋势

摘要

阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵与应用范畴.着重介绍了国外MEMS的研究情况.研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术.总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况,并提出发展我国微机电系统的几点建议.