PSTM等间距及等高扫描方式下减小假像数值模拟

摘要

利用多层薄膜模型对PSTM等间距及等高扫描下的探测场进行了计算.采用两种模式模拟了样品表面起伏引起的倾角假像及用π对称双激光束消除假像的效果.结果表明,用π对称双激光束照射方法可显著减小倾角假像.