入口条件对D4合成石英玻璃的影响

摘要

通过对D4合成石英玻璃过程的数值模拟研究,分析了氢氧当量比、氢氧质量流量、D4和载气总流量对沉积面温度和组分分布以及沉积位置的影响,并根据石英玻璃软化温度优化了沉积面形状.研究结果表明,氢氧当量比为1.0时,沉积面上温度和组分浓度梯度都比较大.适当地降低当量比或者氢氧质量流量,增加中心入口流量,可以减少OH生成,提高SiO2产量,改善沉积面上组分浓度分布均匀性;但流量过低,会导致沉积效率下降.沉积位置应根据火焰温度进行调整,沉积面上非均匀的温度分布一定程度上是由于物理模型中沉积面形状的不合理造成的,偏平状的沉积面更加符合实际情况.