三维motif方法及其对微观形貌的表征

摘要

采用分水岭算法得到三维粗糙度motif.提出最小面积选择原则对粗糙度motif进行初始合并,去除被认为是噪音的非显著motif.通过溢出点面积阀值对粗糙度motif进行进一步的合并及多等级的分析,同时采用高度判断标准以防止对含有公共显著峰的2个motif进行合并.最后对扫描隧道显微镜所扫得的C(100)面进行分析,得到了该表面的motif参数,分析该表面的纹理,展示了该方法的独到之处,并对三维motif方法波动特性进行了分析.