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双光纤Fabry-Perot干涉仪差动检测静电伺服硅微加速度计

     

摘要

详细介绍了一种新型的基于双光纤Fabry-Perot干涉式(以下简称DFPI)差动检测的静电伺服硅微加速度计的设计.通过结构建模以及模型仿真得到该加速度计的分辨率为0.2μg,测量范围为0.2μg~1g.

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