基于SU-8010场发射扫描电镜的个性化测试定制——管理者的实践与探索

摘要

探索不同类别样品的表征参数从而得到高品质的测试数据以及提高测试效率,是电镜管理者一直追求的目标。本文研制的场发射扫描电子显微镜样品快速定位系统,通过对每一个样品的精确定位,减少找样品的时间,使电镜使用效率提高13.6%;通过制备薄样品及减少电子束与基底材料的相互作用,相比传统分析方法,提高了纳米颗粒元素相对定量分析准确性;通过搭建导电通路、增加样品与导电胶接触面和不同的镀膜方式以及合适的探头选择,得到不导电厚样品的高清晰图像。此类研究可为电镜工作者提高管理质量提供一定参考。