扫描电镜高温成像干扰分析及图像修复方法研究

摘要

扫描电子显微镜(SEM)真空腔室内原位加热实验,当温度超过700°C以后,受到热电子的影响,导致扫描电子显微镜扫描成像质量下降,具体表现为产生条纹状的亮纹.针对这一问题,开展对扫描电子显微镜二次电子探测系统及二次电子成像的分析与研究,详细论述了高温下干扰扫描电子显微镜二次电子成像质量的影响因素,并设计出扫描电子显微镜的二次电子成像调节以及图像修复系统.该系统可分为热电子检测、扰动数据获取、图像修复等部分,采用电位检测并实时修改亮纹对应位置的亮度,可实现对被热电子干扰的图像进行主动的亮度补偿,从而实现图像修复的目的.实验结果表明,当样品温度达到1000°C后扫描电镜仍能获得清晰的二次电子图像信息.