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基片温度对TiB2薄膜生长形貌及力学性能的影响

         

摘要

@@ TiB2是一种超硬材料,块体TiB2的硬度高达HV30Gpa,而且耐腐蚀、抗氧化,还具有优良的导电性能,是一种受到广泛重视的导电耐磨涂层材料[1].

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