聚焦离子束(FIB)中的离子光学问题

摘要

本文简要讨论了聚焦离子束中的离子光学问题,包括液态金属离子源的发射机制和发射特性,如虚源、角电流强度、能量分散、伏安特性、束流起伏、聚焦限制、离子束中的化学成分及源的寿命.讨论了离子光学柱体的组成与特征,束流一束径关系,束中电流密度分布,以及空间电荷效应等.回顾了静电透镜的历史以及它在离子光学系统中的重要意义.