Zr-Si-N纳米晶复合膜的生长结构

摘要

近来，三元Me-Si-N复合膜因具有超硬效应而受到广泛关注。迄今为止大量研究集中于Ti-Si-N体系，其他体系报道较少。ZrN薄膜的力学性能与TiN薄膜相近，也是一种得到工业应用的硬质涂层材料。在ZrN薄膜中加入Si形成的Zr-Si-N复合膜可能具有良好的综合力学性能。现有关于Zr-Si-N复合膜的研究表明Si的加入能使薄膜得到强化，薄膜的强化可以归结为Si原子溶入ZrN晶格中所形成的固溶强化或形成了非晶Si3N4层分隔包裹三维ZrN纳米晶的微结构模型。本文研究了Si含量对Zr-Si-N复合膜微结构与力学性能的影响。