中红外波段超广角抗反射微纳结构的研究

摘要

采用时域有限差分法(FDTD)设计了一种具有超广角中红外波段减反射Si材料亚波长周期微纳结构,实现了在超广角(15°~80°)斜入射时大幅提高减反射性能。使用控制变量法分析了亚波长结构的周期、结构高度、底端直径和顶端直径对反射率的影响,并剖析结构参数对宽带和宽角度的影响机理。通过仿真计算研究表明:区别于传统的减反射结构,四棱台结构在中红外波段超广角入射时可以保持较低的反射率,平均反射率低至1%左右,最低可至0.01%,为超广角宽带抗反射结构的设计提供了新的设计方案。